? ? 硅化硅微粉是以碳化硅為原料，通過粉碎設(shè)備而制成的。但碳化硅在冶煉，粉碎的過程中，不可避免的會(huì)混入各種雜質(zhì)，這些雜質(zhì)在碳化硅微粉使用過程中，會(huì)對(duì)其所加工的產(chǎn)品質(zhì)量，制造的半導(dǎo)體器件的性能有很大的影響很大，增加制品的不良品率，降低加工品的表面加工質(zhì)量等。因此，在生產(chǎn)碳化硅微粉時(shí)一定要解決去除其中所含雜質(zhì)的問題。

? ? 碳化硅微粉的的雜質(zhì)主要包括碳，三氧化二鐵，三氧化二鋁，氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等。這些物質(zhì)在碳化硅微粉做不同的用途時(shí)，分別產(chǎn)生不同的影響，其中以三氧化二鐵為主。為了去除碳化硅微粉中的雜質(zhì)，可在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中采用加酸除雜質(zhì)的方式，這種除雜質(zhì)的方法成本低，除雜率高，深受碳化硅微粉廠家的喜愛。